Россия планирует создать установку молекулярно-лучевой эпитаксии к 2030 году

Выделено 1,5 млрд рублей на разработку замены французских и американских установок для производства чипов

Министерство промышленности и торговли заключило контракт на сумму 1,475 млрд рублей с петербургской компанией «Научное и технологическое оборудование» (SemiTEq) для разработки отечественной установки молекулярно-лучевой эпитаксии. Проект, получивший название «Цитадель», должен быть завершен к 31 октября 2030 года с созданием опытного образца.

Новая установка предназначена для выращивания монокристаллических полупроводниковых слоев и формирования гетероструктур на основе соединений индия, алюминия, галлия и мышьяка (InAlGaAs). Эти материалы используются в производстве сложных полупроводниковых устройств, включая высокочастотные и оптоэлектронные компоненты.

Оборудование будет работать с пластинами диаметром 76 и 100 мм. Согласно техническому заданию, установка должна одновременно обрабатывать не менее пяти 76-миллиметровых или трех 100-миллиметровых подложек.

Одним из основных требований проекта стало максимальное локализованное производство. Вакуумные камеры, насосы, молекулярные источники, вакуумная арматура, центральный контроллер и программное обеспечение должны быть произведены в России. Применение зарубежных критически важных компонентов допускается только после отдельного согласования с Минпромторгом.

В настоящее время прямого отечественного аналога установок подобного класса фактически не существует. «Цитадель» должна стать альтернативой промышленным системам французской Riber 49 и американской Veeco GEN200, которые используются для молекулярно-лучевой эпитаксии.

Исполнителем проекта является петербургская компания «НТО», основанная в 2001 году. Компания специализируется на производстве оборудования для электронной промышленности и уже выпускает установки молекулярно-лучевой эпитаксии, а также ранее представила производственные системы для работы с пластинами диаметром до 150 мм.

Тем не менее, проект в данный момент находится на стадии разработки: контракт включает в себя создание конструкторской документации и изготовление опытного образца. О начале серийного производства новой установки пока речи не идет.