Zeiss увеличивает производство уникальной оптики для 2-нанометровых чипов

Zeiss — основной поставщик оптических систем для современных литографов ASML High-NA EUV

Немецкая компания Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology (Zeiss SMT) объявила о значительном расширении своего производственного завода в Оберкохене. Она планирует построить около 25 тысяч квадратных метров новых производственных и вспомогательных площадей для изготовления оптических систем для литографических машин ASML — оборудования, необходимого для производства самых современных микросхем.

Часть нового комплекса уже начала функционировать: первые сотрудники уже работают в одном из зданий, а остальные сооружения будут вводиться в эксплуатацию поэтапно.

Это расширение имеет стратегическое значение не только для Zeiss, но и для всей мировой полупроводниковой индустрии. Заводы компании в Оберкохене и Вецларе остаются единственными в мире, где производятся оптические колонны для EUV-литографических установок ASML.

Это также подтверждается самой ASML. В своем годовом отчете компания четко указывает, что объем производства литографических машин в настоящее время ограничен именно возможностями производства Zeiss SMT. Более того, немецкая компания является единственным поставщиком критически важных оптических компонентов — линз, сверхточных зеркал, осветительных систем и коллекторов. Длительная приостановка поставок фактически остановила бы производство литографических машин ASML.

При этом спрос на такое оборудование продолжает стремительно возрастать. Ранее ASML сообщила своим инвесторам о намерении увеличить выпуск EUV-сканеров Low-NA примерно на 30% уже к 2027 году — с текущих около 65 установок в год. Аналогичное расширение рассматривается и на 2028 год. В то же время компания оптимизирует производственные процессы: время сборки одного литографического комплекса планируется сократить с примерно 22 до 15–16 недель.

Особое значение расширение Zeiss приобретает на фоне начала массового производства систем нового поколения High-NA EUV. Их оптические модули считаются одними из самых сложных инженерных изделий в мире. Одна лишь оптическая колонна состоит более чем из 40 тысяч деталей и весит около 12 тонн, тогда как система освещения добавляет еще 25 тысяч компонентов и приблизительно 6 тонн массы.

Производство отдельных зеркал занимает несколько месяцев. После изготовления они проходят проверку в огромных вакуумных камерах весом свыше 150 тонн, где специалисты измеряют отклонения поверхности с точностью до долей нанометра.

Чтобы ускорить расширение производства, ASML продолжает активно финансировать своего ключевого партнера. По итогам 2025 года объем выданных Zeiss SMT кредитов достиг 1,91 млрд евро, еще 1,19 млрд евро компания перечислила в виде авансов за будущие поставки оптических систем. Кроме того, стороны подписали дополнительные долгосрочные соглашения о финансировании дальнейшего расширения производственных мощностей.

Инвестиции уже начинают сказываться на результатах бизнеса. По итогам финансового года, завершившегося в сентябре 2025 года, выручка подразделения Zeiss SMT увеличилась на 23%, достигнув 5,055 млрд евро. Благодаря этому направление стало крупнейшим бизнесом в рамках всей группы Zeiss.

Помимо строительства новых мощностей в Оберкохене, компания также возводит еще один производственный комплекс в Вецларе, расширяет площади чистых помещений в Россдорфе и открыла инновационный центр в Южной Корее.