LG представляет литограф за $2 млн: без фотошаблонов и с высокой точностью

Он работает с по-настоящему большими подложками

Институт производственных технологий LG (LG Production Engineering Research Institute, LG PRI) начал коммерческие поставки своей системы прямой лазерной литографии высокого разрешения (Laser Direct Imaging, LDI). Первые заказчики включают LG Innotek и одного из зарубежных производителей печатных плат.

Стоимость одной установки составляет около $2 млн. В LG сообщили, что система только недавно вышла на серийное производство, однако фирма уже ведет переговоры с новыми клиентами и реализует совместные проекты.

Ключевой особенностью новой технологии является полный отказ от фотошаблонов. Вместо этого рисунок создается непосредственно ультрафиолетовым лазером, который наносит схему сразу на поверхность заготовки. Такой метод позволяет значительно сократить время подготовки производства, упростить внесение изменений в конструкции изделий и снизить производственные расходы, особенно при изготовлении небольших партий.

По информации LG, система способна генерировать элементы размером от 1,5 до 3 микрометров. Для повышения точности она оборудована уникальной технологией RTAC (Real-Time Active Compensation), которая в реальном времени отслеживает и компенсирует возможные деформации материала во время экспонирования. Это позволяет работать с большими подложками размером до 600 × 600 мм.

Новая установка предназначена для производства современных полупроводниковых подложек и слоев перераспределения соединений (RDL). Она поддерживает работу с разнообразными материалами — от традиционных печатных плат до кремниевых пластин и перспективных стеклянных подложек. В LG надеются, что оборудование найдет применение в производстве современных решений для упаковки микросхем, включая технологии FoCoS и CoPoS.