Китайская литография запускает серийное производство новых машин с заказами на поставки

У ASML появился новый конкурент

Компания Shanghai Xinshang Microassembly представила на коммерческом рынке свою литографическую машину AST6200. Устройство прошло полный цикл технологической проверки у одного из крупнейших китайских производителей полупроводников и уже получило заказы на серийные поставки.

Литографическая установка AST6200 не предназначена для создания современных кремниевых процессоров, а используется для производства компонентов на основе карбида кремния, нитрида галлия, арсенида галлия, фосфида индия и других соединительных полупроводников.

Эти технологии востребованы в электромобилях, сетях 5G и оптоэлектронике. Установка поддерживает пластины диаметром от 2 до 8 дюймов и различного рода подложки, включая кремний, карбид кремния, сапфир и арсенид галлия.

Система оснащена собственной проекционной оптикой, высокоточной системой совмещения слоев, регулируемой подсветкой и автоматической фокусировкой. Дополнительные модули позволяют работать со сложными подложками и осуществлять фронтальное и обратное совмещение. Производитель также полностью самостоятельно разработал программное обеспечение для управления станком — от драйверов оборудования до управления технологическими процессами.

Первая установка AST6200 успешно завершила заводские испытания еще в ноябре 2025 года. Теперь, после успешной валидации у крупного производителя, установка переходит к серийному производству.