Добавь сайт в закладки! Инструкция по ссылке.
В 2026 году заказчикам может быть поставлено пять таких систем
Китай начал массовый выпуск своих собственных иммерсионных DUV-литографов — оборудования, которое считается одним из основных элементов современного производства микросхем. Как сообщает The Information, ссылаясь на свои источники, первые установки планируется поставить крупнейшим китайским производителям чипов — SMIC, Hua Hong Semiconductor и ChangXin Memory Technologies (CXMT) уже в этом году.
Согласно данным издания, в течение 2026 года производитель планирует выпустить около пяти таких машин, а в 2027 году увеличить объем производства примерно до двадцати установок.
Название компании официально не раскрывается. Тем не менее, источники утверждают, что проект создавался при участии нескольких китайских компаний, включая государственный стартап Shanghai Yuliangsheng Technology. Сообщается, что опытный образец иммерсионного DUV-литографа проходит тестирование на площадке SMIC с сентября 2025 года.
Большая часть компонентов нового оборудования производится в Китае, хотя некоторые критически важные узлы закупаются в Японии. Именно трудности с поставками этих компонентов в настоящее время ограничивают темпы серийного производства.
Иммерсионная DUV-литография — одна из самых сложных технологий, применяемых для производства современных микросхем. Такие установки позволяют создавать чипы по техпроцессу около 28 нм за один цикл экспозиции, а с использованием технологии многократной экспозиции (multiple patterning) способны производить микросхемы уровня около 7 нм.
Запуск собственного производства литографов происходит на фоне растущего давления со стороны США. В настоящее время в Конгрессе рассматривается законопроект MATCH Act, который может запретить нидерландской компании ASML не только поставлять новые иммерсионные DUV-системы китайским компаниям, но и обслуживать уже установленное оборудование. В числе компаний, которые могут оказаться под воздействием MATCH Act, упоминаются SMIC, Hua Hong и CXMT.
ИсточникПоделись видео:
