В Зеленограде создают уникальную «чистую комнату» для отечественной металлизации чипов

Минпромторг профинансирует разработку отечественного аналога оборудования Applied Materials

Группа компаний «Элемент» приступила к подготовке инфраструктуры для установки первой в России промышленной системы алюминиевой металлизации с использованием метода вакуумного напыления. Для реализации проекта потребуется возведение специализированной чистой комнаты и комплекса инженерных систем, соответствующих стандартам микроэлектронного производства.

Проектирование осуществляет компания «Системные решения», которая выиграла конкурс НИИ молекулярной электроники (НИИМЭ). Сумма контракта составила 21 млн рублей. Испытательный центр будет расположен в Зеленограде на площади около 350 м². Отдельно Минпромторг выделяет средства на разработку самой установки — на 2026 год предусмотрено около 2 млрд рублей.

В данном проекте речь идёт о создании отечественного аналога оборудования Applied Materials и Evatec. Установка призвана обеспечить производство микросхем по технологиям 180–90 нанометров на 200-миллиметровых пластинах без применения зарубежных систем. Она будет наносить слои алюминия, титана и нитрида титана, которые необходимы для формирования проводящих дорожек и защитных слоёв.

Оборудование данного класса требует строго контролируемой окружающей среды. В проекте предусмотрены отдельные зоны: участок металлизации, измерительный блок и помещения для инженерных систем. Главная зона должна соответствовать классу чистоты ISO 6, вспомогательные — ISO 8.

В таких помещениях поддерживаются строгие параметры: фильтрация воздуха до частиц 0,3 микрона, температура около +22 ±2 °C, влажность порядка 50%, а уровень вибрации — не выше 6 мкм/с. Также необходимы системы резервного электропитания, подача сверхчистых газов, охлаждение, контроль электромагнитных помех и постоянный мониторинг параметров окружающей среды.

Эксперты подчеркивают, что создание чистых помещений остаётся одной из самых сложных и затратных задач в российской микроэлектронике. Согласно данным отраслевых источников, часть оборудования и компонентов для таких систем по-прежнему закупается за границей, в основном в Китае, после введения ограничений на поставки из западных стран.

Проект чистой комнаты является частью разработки восьмимодульной установки вакуумного напыления с двумя роботизированными манипуляторами для работы с кремниевыми пластинами. Завершение создания оборудования запланировано до конца сентября 2030 года.